產(chǎn)品名稱: 靶材
介紹
鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀90年代以來,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導體集成電路制造過程中,以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產(chǎn)業(yè)中,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。
市場概況
日本。就美國而言.約有50家中小規(guī)模的靶材制造商及經(jīng)銷商,其中最大的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設(shè)立分公司。近段時間,亞洲的一些國家和地區(qū),如臺灣.韓國和新加坡,就建立了越來越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠,如IC、液晶顯示器及光碟制造廠。
對靶材廠商而言,這是相當重要的新興市場。中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增,不斷的擴大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù),國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的品牌已經(jīng)達到國外最頂尖的技術(shù)水平。2010年,日本三菱公司就在中國臺灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地,可以滿足臺灣50%的靶材需要。
BCC(BusinessCommunicationsCompany,商業(yè)咨詢公司)最新的統(tǒng)計報告指出,全球靶材市場將以8.8%的年平均增長率(AAGR)在今后的5年內(nèi)持續(xù)增長,估計銷售額將從1999年的7.2億美元增加到2004年的11億美元。靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料,主要使用在微電子,顯示器,存儲器以及光學鍍膜等產(chǎn)業(yè)上,用以濺射用于尖端技術(shù)的各種薄膜材料。BCC的報告顯示:全球的上述產(chǎn)業(yè)在1999年使用了2.88百萬公斤靶材。換算為面積,則濺射了363百萬平方米的薄膜。而若以單位靶材來計算,全球在1999年則大約使用了37400單位的靶材。這里所要指出的是,隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的不同,靶材的形狀與大小也有所差異,其直徑從15Gm到3m都有,而上述的統(tǒng)計資料,則是平均化后的結(jié)果。
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